原子熒光光譜分析法(AFS)是用一定強度的激發光源(線光源或連續光源)發射具有特征信號的光照射含有一定濃度的待測元素的原子蒸氣后，其中的自由原子被激發躍遷到高能態，然后去激發躍遷到某一較低能態，(常常是基態)或去激發躍遷到不同于原來能態的另一較低能態而發射出各種特征原子熒光光譜，據此可以辨別元素的存在，并可以根據測量的熒光強度求得待測樣品中的含量。

　　原子熒光光譜分析法(AFS)和原子吸收光譜分析(AAS)有著不同又有相同相似之處：

　　1.兩者的原理有本質上的不同，AFS是發射光譜分析，AAS則屬于吸收光譜分析。AFS測量的原子熒光強度和AAS測量的吸光度都與基態原子濃度成正比關系。

　　2.儀器結構和操作手續非常相似。但是AAS的儀器裝置形式是光源-原子化器-單色器-檢測器是一直線，而AFS的光源與單色器不是在一直線上，而是成90º，且AFS必須是使用強光源。

　　3.檢出限方面，AFS比AAS好，精密度這兩種方法大致相同，相對標準偏差僅為1%。

　　4.干擾情況相似，化學干擾、物理干擾和光譜干擾對兩個方法的影響相似，但程度有不同，這與它們所采用的光源特性有關系。在AFS中光的散射干擾在一定程度上比AAS嚴重。同時AFS中的熒光猝滅效應對熒光強度的影響也是比較嚴重的，以致在測定復雜基體的試樣及高含量樣品時，尚有一定的困難。此外，散射光的干擾也是原子熒光分析中的一個麻煩問題。

　　5.與AAS比較，AFS還具有多元素同時測定，儀器結構簡單(非色散原子熒光儀)，靈敏度高等優點。

　　6.與AAS比較，AFS需要高濃度酸，標準需要預還原，實驗條件較嚴等。